薄膜应力及基底翘曲测试设备
FSM128系列设备，装备有光学扫描系统。
薄膜应力及基底翘曲测试设备
FSM 500TC 200mm 高温应力测试系统可以帮助研发和工艺工程师评估薄膜的热力学性.....
晶圆厚度测量系统
FSM413回波探头传感器使用具有红外（IR）干涉测量技术
Line Card
全自动紫外线芯片应力测量仪
全自动紫外线芯片应力测量仪一台全自动紫外线——可见光RAMan仪器，主要用与测量芯片应力。
红外干涉测量设备
红外干涉测量技术, 非接触式测量
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