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全自动紫外线芯片应力测量仪

更新时间:2020-12-14

产品品牌:Frontier Semiconductor

产品型号:FSM360

产品描述:全自动紫外线芯片应力测量仪一台全自动紫外线——可见光RAMan仪器,主要用与测量芯片应力。

FSM360是一台全自动紫外线——可见光RAMan仪器,主要用与测量芯片应力。

利用微米直径光斑照射。
芯片会产生另外一个光束(Raman信号),Raman信号的频率有别于原来的光源。
从Raman信号频率我们可以测出样本的应力大小。
紫外线Raman主要用于薄膜或样本表面的应力测量。
可见光Raman主要用于多层薄膜或厚样本的应力测量。
 
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